200mm多功能非接觸式晶圓厚度&阻值&P/N型態量測儀

MX608

♦ 最多兩條直線掃描晶圓，以顯示厚度、總厚度變異量  (TTV)、阻值、P/N型態數據

♦ 最多可對晶圓作十字線掃描共57點量測資料

♦ 高產能：一條直線掃描 < 10 sec , 兩條直線掃描 < 20   sec

♦ 阻值範圍：0.001 - 200 Ohm-cm，P/N型態檢查範圍:  0.02 – 200 Ohm-cm

♦ 厚度精確度：±0.3 μm，總厚度變異量精確度: ±0.1 μm (1σ)